Pooljuhtide valmistamise seade, mis on vajalik ebaõnnestunud PTFE sukelsoojendi asendamiseks kompaktses märgpingikambris. Kasutatav ruum oli 150 mm laiune pilu piki paagi seina, 400 mm sügavune 100 mm äärikuavaga. Vajalik võimsus oli 2,5 kW. Tavalised kataloogisoojendid olid ruumi jaoks liiga laiad, liiga pikad või liiga kõrge vattihedusega. Rajatis vajas kohandatud kütteseadet, mis sobiks pessa ja töötaks ohutu vattihedusega.
PTFE sukelsoojendi määramine kompaktse märgpingi kambri jaoks nõuab teistsugust lähenemist kui suure plaadistuspaagi määramine. Ruumipiirangud on rangemad, keemia on sageli agressiivsem ja temperatuuri ühtluse nõuded on rangemad. Spetsifikatsioon peab tasakaalustama vattihedust, pindala ja füüsilist sobivust väga väikeses ümbrises.
Ruumipiirangu analüüs
Esimene samm on saadaoleva ruumi täpne kaardistamine. Märgpingikambris määrab küttekeha sageli ühel küljel paagi sein, teisel pool vahvlikanduri tee ja allpool paagi põhi. Saadaolev maht võib olla ebakorrapärase kujuga, mida tavaline kütteseade täita ei suuda.
Peamised mõõtmed on maksimaalne laius, maksimaalne sügavus, maksimaalne kõrgus ja liikuvate osade vaheline kaugus. Ääriku ava määrab sisestatava küttekeha maksimaalse läbimõõdu. Sukeldussügavus määrab kasutatava kuumutatud pikkuse.
| Mõõtmed | Tüüpiline piirang | Mõju küttekeha disainile |
|---|---|---|
| Saadaval laius | 100-200 mm | Piirab küttekeha laiust |
| Saadaval sügavus | 300-500 mm | Piirab kuumutatud pikkust |
| Ääriku avamine | 80-150 mm | Piirab küttekeha paigaldamist |
| Keelekümbluse sügavus | 200-400 mm | Piirab kuumutatud pikkust |
| Kliirens vedajale | 50-100 mm | Piirab väljaulatuvust |
Ruumipiirangud kompaktsetes märgades pingikambrites
Vattide tiheduse ja pindala arvutamine
2,5 kW tööks ohutu vattihedusega 1,0 W/cm² on vaja 2500 cm² kesta pindala. Piiratud ruumi{5}}kambris on selle pindala saavutamiseks vaja kompaktset L-- või U--kujulist konfiguratsiooni.
L--kujuline 250 mm vertikaalse ja 350 mm horisontaalse osaga küttekeha tagab 600 mm kuumutatud pikkuse. 50 mm ümbrise läbimõõduga, mis annab ligikaudu 942 cm² pindala -vähem kui poole nõutavast. Vaja on mitme-pääsme konfiguratsiooni koos lisapääsmetega.
| Küttekeha konfiguratsioon | Soojendusega pikkus | Pindala 32 mm juures | Pinnaala 50 mm juures | Sobib 150 mm pilusse |
|---|---|---|---|---|
| Sirge, 250 mm | 250 mm | 250 cm² | 393 cm² | Jah, aga ala on ebapiisav |
| L-kujuline, 250 + 350 mm | 600 mm | 600 cm² | 942 cm² | Jah |
| U-kujuline, 250 + 200 + 250 mm | 700 mm | 700 cm² | 1100 cm² | Jah |
| Mitm-läbikäik, 4 × 250 mm | 1000 mm | 1000 cm² | 1571 cm² | Jah |
| Mitm-läbikäik, 7 × 250 mm | 1750 mm | 1750 cm² | 2749 cm² | Tihedalt sobiv |
Küttekeha konfiguratsioonid 2,5 kW tööks 1,0 W/cm² kompaktses kambris
Küttekeha paigaldamine pessa
Kütteseade peab mahtuma läbi ääriku ava ja vabasse pilusse. 350 mm laiusega küttekeha ei mahu läbi 100 mm äärikuava. Lahendus on suunata kütteseade vertikaalselt nii, et selle laius oleks joondatud pilu sügavusega ja paksus oleks joondatud ääriku avaga.
250 mm pikkuse, 350 mm laiuse ja 50 mm kimbu läbimõõduga mitmekäigulise küttekeha saab sisestada läbi 100 mm äärikuava, kui 50 mm kimbu läbimõõt on avaga joondatud. Kui kütteseade on paagis, pööratakse see oma kohale.
Voolu ja temperatuuri ühtlus kitsastes ruumides
Kompaktses kambris piiravad küttekeha ümbritsevat voolu sageli läheduses asuv paagi sein ja vahvlikandja. Vooluvool võib olla ebaühtlane, ühelt poolt suure kiirusega ja teiselt poolt väikese kiirusega. See võib madalal{2}}kiirusel tekitada kuumi kohti.
Perforeeritud deflektor või voolujuht võib voolu kütteseadme ümber ühtlasemalt jaotada. Deflektor peaks olema konstrueeritud nii, et see mahuks olemasolevasse ruumi ja suunaks voolu läbi käikude vaheliste pilude.
Materjalid ja konstruktsioon pooljuhtide teenuse jaoks
Pooljuhttööriistad nõuavad sageli{0}}kõrge puhtusastmega materjale. PTFE ümbris peaks olema esmane, täitmata polümeer, millel on vähe ekstraheeritavaid aineid. Äärik peab olema tahke PTFE või PTFE{3}}voodriga roostevaba teras. Saastumise vältimiseks peab terminali korpus olema suletud ja õhutatud.
Enne paigaldamist tuleb kütteseade puhastada ja passiveerida. Kõik tootmisõlide jäägid või osakesed võivad protsessivanni saastada.
Kui tavaline kütteseade ei mahu kambrisse
Tavaline küttekeha sobib harva kompaktse märgpingikambriga. Saadaolev ruum on liiga väike, kuju on liiga ebakorrapärane ja puhtusnõuded on liiga ranged. Kohandatud PTFE-sukelsoojendi konfiguratsioon mitme läbipääsuga disaini, kompaktse ruumijälje ja suletud terminali korpusega lahendab ruumipiirangu algpõhjuse. Spetsifikatsiooniprotsess nõuab olemasolevaid ruumi mõõtmeid, ääriku ava, sukeldumissügavust, vanni keemiat, nõutavat võimsust ja puhtusnõudeid. Kompaktsete kambritega rajatiste puhul tagab see rakendusespetsiifiline{5}}lähenemine vajaliku pindala saadaoleva ruumi piires.
