Pooljuhtfab vajas kohandatud PTFE sukelsoojendit märgpingiprotsessi paagi jaoks. Küttekeha oli konstrueeritud õigesti, võttes arvesse soojust, keemiat ja ruumipiiranguid. See paigaldati ja töötas edukalt kolm kuud. Seejärel nõudis tehase kvaliteediosakond kliendiauditi jaoks dokumentatsiooni. Kütteseadme tarnija ei suutnud esitada materjali jälgitavuse, pinnaviimistluse sertifikaadi ega eraldatavaid andmeid. Kütteseade eemaldati kasutusest kuni dokumentatsiooni hankimiseni.
Pooljuhttoodetel on dokumentatsiooni- ja sertifitseerimisnõuded, mis ületavad küttekeha elektrilisi ja termilisi spetsifikatsioone. Nõuded hõlmavad materjali puhtust, pinnaviimistlust, ekstraheeritavaid aineid ja jälgitavust. Kohandatud PTFE-sukelküttekeha pooljuhtide teenindamiseks peab vastama nendele nõuetele ja tarnija peab esitama selle tõendamiseks dokumendid.
Materjali jälgitavus ja puhtus
Pooljuhtsoojendis kasutatav PTFE peab olema jälgitav vaigupartiile. Tarnija peab esitama polümeeri analüüsisertifikaadi (CoA), mis näitab partii numbrit, tootjat ja põhiomadusi -molekulmassi, kristallilisuse ja lisandite tasemeid.
PTFE peab olema esmane, täitmata polümeer. Täidetud PTFE{1}}, mis sisaldab klaasi, süsinikku või muid lisandeid,-ei ole vastuvõetav, kuna täiteained võivad protsessivanni leostuda. Polümeer peab vastama protsessi puhtusnõuetele, tavaliselt peab ekstraheeritavate ioonidega olema alla määratud piiri.
| Dokumentatsioon | Mida see tõendab | Tüüpiline nõue |
|---|---|---|
| Vaigu CoA | Partii jälgitavus, omadused | Molekulmass, lisandite tase |
| Materjali sertifikaat | Neitsi PTFE, ilma täiteaineteta | 100% neitsi PTFE |
| Väljavõtete aruanne | Iooniline saastumine | <50 ppb per ion |
| Pinnaviimistluse aruanne | Ra väärtus | <0.4 μm Ra |
| Mõõtmete ülevaatus | Tolerantsi järgimine | Joonise järgi |
Materjali jälgitavuse ja puhtuse dokumentatsioon pooljuht-PTFE-soojendite jaoks
Pinna viimistlus ja puhtus
Pooljuhtprotsessid nõuavad siledaid ja puhtaid pindu, mis ei püüa osakesi kinni ega eralda saasteaineid. PTFE ümbrise pinnaviimistlus peab olema 0,4 μm Ra või parem. Karedam pind võib sisaldada osakesi ja soodustada biokile moodustumist.
Enne paigaldamist tuleb kütteseade puhastada ja passiveerida. Puhastusprotsess eemaldab tootmisjäägid, õlid ja osakesed. Passiveerimisprotsess tagab, et pind on keemiliselt inertne ega eralda protsessivanni saasteaineid.
Pinnaviimistlusaruanne ja puhastussertifikaat dokumenteerivad küttekeha puhtust. Aruanne peaks sisaldama mõõtmismeetodit, proovivõtukohti ja tulemusi.
Ekstraheeritavate ja leostuvate ainete testimine
Ekstraheeritavate ainete testimine mõõdab ioonide, orgaaniliste ainete ja osakeste eraldumist küttekehast protsessivedelikku. Katse hõlmab küttekeha sukeldamist kindlaksmääratud perioodiks töötemperatuuril ülipuhtasse vette või tüüpilisse protsessivedelikku ja seejärel vedeliku analüüsimist saasteainete suhtes.
Ekstraheeritavate ainete piirid sõltuvad protsessist. Kriitiliste pooljuhtprotsesside puhul võivad piirangud olla metallide ja orgaaniliste ainete madalates osades -per-miljard. Katsearuanne dokumenteerib tulemused ja tõendab, et kütteseade vastab protsessi nõuetele.
| Test | Mida see mõõdab | Tüüpiline limiit | meetod |
|---|---|---|---|
| Metallist ekstraheeritavad ained | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | ICP-MS |
| Orgaanilised ekstraheeritavad ained | TOC, spetsiifiline orgaanika | <100 ppb TOC | HPLC, GC-MS |
| Osakeste vabanemine | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | Vedelate osakeste loendur |
| Anioonide ekstraheeritavad ained | Cl⁻, F⁻, SO₄2⁻ | <50 ppb each | Ioonkromatograafia |
Pooljuht-PTFE-soojendite ekstraheeritavate ainete testimise nõuded
Elektri- ja ohutussertifikaadid
Kütteseade peab vastama tehase elektriohutusnõuetele. Põhja-Ameerikas tähendab see tavaliselt UL-i või ETL-i nimekirja. Euroopas tähendab see CE-märgistust, mis vastab kehtivatele direktiividele.
Klemmide korpus peab vastama asjakohasele sisendkaitse reitingule -tavaliselt IP66 või NEMA 4X. Kütteseade peab ühilduma tehase maandustõrke kaitsesüsteemiga.
| Sertifitseerimine | Piirkond | Mida see hõlmab | Tüüpiline nõue |
|---|---|---|---|
| UL 499 | Põhja-Ameerika | Elektriohutus | Loetletud või tunnustatud |
| CE | Euroopas | Ohutus, EMC | Märgistus ja deklareerimine |
| IP66 | Rahvusvaheline | Sissepääsu kaitse | Terminali korpus |
| ATEX | Euroopas | Plahvatuskindel- | Kui tuleohtlik atmosfäär |
| SEMI S2 | Pooljuht | Ohutusjuhised | Fab nõue |
Pooljuht-PTFE-soojendite elektri- ja ohutussertifikaadid
Jälgitavuse ja dokumentatsiooni pakett
Pooljuhtküttekeha dokumentatsioonipakett sisaldab materjalide sertifikaate, pinnaviimistluse aruannet, ekstraheeritavate materjalide katsearuannet, elektrisertifikaate ja mõõtmete kontrollimise aruannet. Pakendil peab olema konkreetne küttekeha seerianumber.
Enne küttekeha vastuvõtmist vaatab pakendi üle tehase kvaliteediosakond. Mittetäielik dokumentatsioon võib installimist edasi lükata või tagasi lükata.
Kui standardsed kütteseadmed ei vasta dokumentatsiooninõuetele
Tavalised PTFE-sukelsoojendid ei ole kaasas pooljuhtide hooldamiseks vajaliku dokumentatsioonipaketiga. Pooljuhtide teenindamiseks mõeldud kohandatud PTFE-küttekeha sisaldab dokumentatsiooni, testimist ja nõutavat jälgitavust. Spetsifikatsiooniprotsess nõuab protsessi keemiat, puhtusnõudeid, pinnaviimistluse spetsifikatsiooni, ekstraheeritavate ainete piirnorme ja elektrilisi sertifikaate.
